Aðferð til að útbúa pólýkísil.

1. Hleðsla

Settu húðuðu kvarsdeigluna á varmaskiptaborðið, bættu við sílikonhráefni, settu síðan upp hitabúnað, einangrunarbúnað og ofnhlíf, tæmdu ofninn til að minnka þrýstinginn í ofninum í 0,05-0,1mbar og viðhalda lofttæmi. Settu argon sem hlífðargas til að halda þrýstingnum í ofninum í grundvallaratriðum í kringum 400-600mbar.

2. Upphitun

Notaðu grafíthitara til að hita ofninn, gufa fyrst upp rakann sem aðsogaður er á yfirborði grafíthluta, einangrunarlag, sílikonhráefni osfrv., og hitaðu síðan hægt upp til að hitastig kvarsdeiglunnar nái um 1200-1300℃. Þetta ferli tekur 4-5 klst.

3. Bráðnun

Settu argon sem hlífðargas til að halda þrýstingnum í ofninum í grundvallaratriðum í kringum 400-600mbar. Aukið hitunaraflið smám saman til að aðlaga hitastigið í deiglunni að um 1500℃, og kísilhráefnið byrjar að bráðna. Haltu um 1500℃meðan á bræðslu stendur þar til bræðslunni er lokið. Þetta ferli tekur um 20-22 klukkustundir.

4. Kristallvöxtur

Eftir að kísilhráefnið er bráðnað er hitunarkrafturinn minnkaður til að hitastig deiglunnar lækki í um það bil 1420-1440℃, sem er bræðslumark kísils. Síðan færist kvarsdeiglan smám saman niður á við, eða einangrunarbúnaðurinn hækkar smám saman, þannig að kvarsdeiglan fer hægt og rólega út af hitunarsvæðinu og myndar varmaskipti við umhverfið; á sama tíma er vatni leitt í gegnum kæliplötuna til að lækka hitastig bræðslunnar frá botninum og fyrst myndast kristallaður sílikon neðst. Meðan á vaxtarferlinu stendur, helst fastur-vökvi tengi alltaf samsíða lárétta planinu þar til kristalvöxturinn er lokið. Þetta ferli tekur um 20-22 klukkustundir.

5. Hreinsun

Eftir að kristalvöxturinn er lokið, vegna mikils hitastigs milli botns og topps kristalsins, getur hitauppstreymi verið í hleifnum, sem auðvelt er að brjóta aftur við hitun kísilskúffunnar og undirbúning rafhlöðunnar. . Þess vegna, eftir að kristalvöxturinn er lokið, er kísilhúðinni haldið nálægt bræðslumarki í 2-4 klukkustundir til að gera hitastig kísilhúðarinnar einsleitt og draga úr hitauppstreymi.

6. Kæling

Eftir að kísilhleifurinn hefur verið glæður í ofninum skaltu slökkva á hitunaraflið, hækka hitaeinangrunarbúnaðinn eða lækka kísilhleifinn alveg og setja mikið flæði af argongasi inn í ofninn til að minnka hitastig kísilhleifsins smám saman í nálægt stofuhita; á sama tíma hækkar gasþrýstingurinn í ofninum smám saman þar til hann nær loftþrýstingi. Þetta ferli tekur um 10 klukkustundir.